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华微电子为华东某单位提供感应耦合等离子增强化学气相沉积系统此次中标机台型号为SI500D，主要用于II-VI、III-V及硅等材料得高密度，低应力氮化硅，氧化硅，多晶硅得沉积，最大兼容8寸单片样品。 |
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