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华微电子（香港）有限公司

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华微电子为华南某MEMS企业提供单片RCA湿法清洗系统

此次中标机台型号为Spinstep，主要用于MEMS工艺中CMP后的湿法清洗，去除颗粒，有机物，金属离子，最大兼容8英寸样品。
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