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应用： SEM样品制备（溅射和碳蒸发） TEM样品制备（碳蒸发） X射线微量分析样品制备（碳蒸发） 高分辨率样品制备 主要特点： 直流溅射，可对样品预清洗 碳蒸发可选 支持直径4寸以下样品 倾斜/旋转样品台设计 PLC触摸屏控制 可配膜厚控制系统 氧化性金属和非金属高分辨率制备 极限真空5E-6Torr |
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