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提供了一种高性能,小巧,实惠的磁控溅射系统标准配置两个直径 2 英寸的溅射靶材 可以处理最大直径为 4 英寸的工件 直流溅射,射频溅射 支持共溅射 工艺气体可选触摸屏控制