客户案例_华微电子（香港）有限公司

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华微电子为华南某MEMS企业提供自动粘接、研磨、抛光系统

此次中标机台型号为1台WSB+2台LP50，主要用于硅衬底的粘片，研磨及化学机械抛光，最大兼容6英寸样品。
华微电子为华中某985高校提供RIE刻蚀系统

此次中标机台型号为SI591，主要用于InP、介质，金属等刻蚀，最大兼容8寸单片样品。
华微电子为华东某研究院提供椭偏仪测量系统

此次中标机台型号为SER800 DUV，主要用于碳化硅工艺中，电介质，折射率，聚合物，消光系数等的测量。
华微电子为华东某研究院提供ICP刻蚀系统

此次中标机台型号为SI500，主要用于碳化硅、金属得刻蚀，最大兼容8寸单片样品。
华微电子为华东某单位提供感应耦合等离子增强化学气相沉积系统

此次中标机台型号为SI500D，主要用于II-VI、III-V及硅等材料得高密度，低应力氮化硅，氧化硅，多晶硅得沉积，最大兼容8寸单片样品。
华微电子为华东某电子材料企业提供自动粘接系统

此次中标机台型号为MWBS，主要用于处理薄的和易碎的II-VI及III-V半导体晶片的粘接，可一次性粘接1片8寸样品，并向下兼容小尺寸。
华微电子为华中某研究所提供研磨抛光系统

此次中标机台型号为LP70，该系统主要用于InP，GaAs等晶片的研磨及化学机械抛光。
华微电子为华东某光电企业提供化学机械抛光系统

此次中标机台型号为LP70，该系统主要用于InP，GaAs等晶片的化学机械抛光。

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